Seal-Glide® – eine speziell entwickelte Oberflächenbehandlungstechnologie – steht für weniger Reibung durch Nanotechnologie. Sie ist sie ideal für komplexe geometrische Formen oder Bauteile mit Hinterschnitten geeignet (Bild: Trelleborg Sealing Solutions Germany GmbH)
18.06.2025 Maßgeschneiderte Halbleiterdichtungen von Trelleborg für extreme Fertigungsumgebungen
Auf dem Silicon Saxony Day zeigte Trelleborg Technologien für extreme Fertigungs- und Sub-Fab-Umgebungen, die maximale Prozesssicherheit, Reinheit und Effizienz für die Halbleiterfertigung gewährleisten.
Mit der Teilnahme an diesem Netzwerktreffen und der begleitenden Ausstellung unterstrich das Unternehmen seine Strategie „Local for local“ und demonstrierte, wie seine Produktionskapazitäten und Technologien in Europa, aber auch weltweit, Kunden dabei unterstützen können, leistungsstarke und maßgeschneiderte Dichtungslösungen für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen zu entwickeln. Zu den Highlights vor Ort gehörten O-Ringe und kundenspezifische Formteile, bei denen Präzision, Reinheit und Langlebigkeit für kundenspezifische Anwendungen gefragt sind. Darüber hinaus stellte das Unternehmen stabile Gummi-Metall- und Gummi-Kunststoff-Verbunddichtungen für den Einsatz in hochkritischen Anwendungen, in chemisch-mechanisch planarisierten (CMP-) Membranen als auch Waferseals für ECD-Prozesse (elektrochemische Abscheidung) vor.
Als weitere Fokusthemen zeigte man die Isolast® PureFab™ FFKM-Werkstoffe, die für Stabilität in extremen Temperaturbereichen sowie eine außergewöhnlich geringe Partikelfreisetzung und Reinheit stehen. Es macht sie zu idealen Materialien für anspruchsvolle Prozesse wie Ätzen und Abscheidung. Zudem ist eine neuartige Oberflächenbehandlung im Portfolio: Mit der innovativen Seal-Glide® Technologie reduzieren Anwendende die Reibung sowie Haftreibung von Elastomerdichtungen und steigern so die Effizienz für geringere Stillstandszeiten in der Produktion.
Das Unternehmen baut zudem seine Produktionskapazitäten für Halbleiterapplikationen in Europa weiter aus – schnellere Lieferzeiten, eine bessere Flexibilität und ausgezeichneten lokalen Service inklusive. Die Reinraumkapazitäten am Fertigungsstandort Malta werden aktuell z.B. auf mehr als 500 m2 erweitert. Neue Kapazitäten stärken so die Produktion von u.a. FKM- und FFKM-Elastomerprodukten, die zentrale Bausteine für die Halbleiterindustrie darstellen.
