Schnelle Leckprüfung für Halbleiterfertigungsanlagen

Der neue UL6000 Fab absolviert Dichtheitsprüfungen in der Halbleiterfertigung in Rekordzeit (Bild: Inficon)

02.09.2021 Schnelle Leckprüfung für Halbleiterfertigungsanlagen

Mit dem UL6000 Fab stellt Inficon die neueste Generation seiner mobilen Dichtheitsprüfgeräte für großvolumige Fertigungsanlagen in der Halbleiterbranche vor.

Einsatzbereiche für das das mobile Gerät sind die  Fertigung von Halbleiter-Chips sowie Produktionsanlagen für Solarzellen, Flachbildschirme, Glas- und Folienbeschichtung und für Vakuumanlagen. Wie sein Vorgänger UL5000 nutzt auch das neue Gerät die Vakuummethode mit Helium als Prüfgas. Die Booster-Turbomolekularpumpe des UL6000 Fab fördert Helium mit mehr als 36 l/s. Dieses  Heliumsaugvermögen führt dazu, dass das Gerät extrem schnell anspricht, mit sehr kurzen Anstiegs- und Abfallzeiten. Als Vorpumpe zur Grobevakuierung dient eine leistungsfähige Rootspumpe mit einem Luftsaugvermögen von 36 m3/h. Der UL6000 Fab detektiert selbst kleinste Lecks bis hinab zu einer Größe von 5 ∙ 10-12 mbar∙l/s  zuverlässig. All dies macht den UL6000 Fab nach Unternehmensangaben zum schnellsten und empfindlichsten Dichtheitsprüfsystem am Markt. Bei Halbleiterherstellern z.B. amortisiert sich das neue Dichtheitsprüfgerät dank seiner Geschwindigkeit innerhalb weniger Einsätze, weil es Fertigungsunterbrechungen – etwa bei einer Regelwartung – entscheidend verkürzt.

Der UL6000 Fab greift auch das inzwischen bewährte Bedienkonzept und das Design des kleineren Bruders UL3000 Fab (ULTRA) auf – der allerdings für Prüfungen an kleineren Volumina konzipiert ist. Auch der neue UL6000 Fab verfügt über eine ganze Reihe intelligenter Funktionen, die die Bediener/innen beim Einsatz unterstützen. I·CAL z.B. ist ein zeitsparender Software-Algorithmus, der Rauschanteile aus dem Signal filtert und gleichzeitig kleinste Signalausschläge erkennt. I·ZERO 2.0 heißt eine Nullpunktfunktion, die einen erhöhten Helium-Untergrund im Prüfobjekt unterdrückt, ohne die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Prüfung zu beeinflussen. Die exklusive „Massive Mode“-Technologie  gestattet es, Groblecks sehr schnell zu lokalisieren, und zwar auch, wenn beim Abpumpen der Druck wegen eines Groblecks nicht oder nicht wesentlich unter den atmosphärischen Druck fällt. Die HYDRO·S-Funktion eliminiert den Wasserstoff-Anteil aus dem Signal, der von Wasser oder Feuchtigkeit im Prüfobjekt verursacht wird. Und das I·CHECK-Feature misst die Untergrundkonzentration von Helium in der Umgebungsluft, um optimale Messbedingungen sicherzustellen.