Mobile Lecksuchgeräte

Lecksuchsystem für die Halbleiter- und Display-Industrie (Bild: Pfeiffer Vacuum GmbH)

09.04.2018 Mobile Lecksuchgeräte

Die Systeme ASM 390 und ASM 392 von Pfeiffer Vacuum eignen sich als Lecksuchlösungen für die Halbleiter- und Display-Industrie sowie für andere anspruchsvolle Anwendungen, bei denen kurze Abpumpzeiten und eine hohe Empfindlichkeit von Bedeutung sind.

Beide Systeme sind konform mit der Richtlinie Semi S2. Die Lecksucher sind mit einer ölfreien, berührungslos arbeitenden Vorvakuumpumpe und einer leistungsstarken Hochvakuumpumpe ausgestattet. Damit sind sie für die Dichtheitsprüfung von Bauteilen aller Art in reinen Umgebungen geeignet. Dank einer zusätzlichen Turbopumpe beschleunigt der ASM 392 den Lecksuchprozess und trägt so zur Reduzierung der Ausfallzeiten in Produktionsanlagen bei. Beide Systeme wurden entwickelt, um unabhängig von den Kenntnissen des Bedieners eine uneingeschränkt zuverlässige Leckprüfung zu gewährleisten. Sie liefern in kürzester Zeit akkurate Ergebnisse. Beide Geräte verfügen über eine gute Ergonomie. Sie haben eine optimale Größe und Höhe, einen zusätzlichen Griff an der Vorderseite, ein frei dreh- und abnehmbares Display und eine Schnittstelle an der Vorderseite zur einfachen Verbindung mit Prüfanschlüssen. Hinzu kommt ihre Mobilität, die selbst bei engen Platzverhältnissen den Zugang zu allen Testbereichen ermöglicht. Das große, übersichtliche Touch-Panel-Farbdisplay, eine integrierte, modular aufgebaute Werkzeugbox sowie der Stauraum für Vakuumbälge gestalten die Lecksuche zusätzlich komfortabel.