Schnellere Dichtheitsprüfung in der Halbleiter-Fertigung

Das neue Modell "ULTRA" verwendet als Vorpumpe statt einer Scrollpumpe eine sehr leistungsfähige Klauenpumpe (Bild: INFICON GmbH)

23.06.2020 Schnellere Dichtheitsprüfung in der Halbleiter-Fertigung

Mit dem „UL3000 Fab ULTRA“ hat die INFICON GmbH die neueste Generation seiner mobilen Dichtheitsprüfgeräte  für die speziellen Anforderungen von Anlagen für die Fertigung von Halbleiter-Chips, Solarzellen und Flachbildschirmen, für Glas- und Folienbeschichtung sowie für Vakuumanlagen weiterentwickelt.

Das Gerät nutzt die Vakuummethode mit Helium als Prüfgas, um kleinste Undichtigkeiten sicher zu detektieren. Das System ersetzt die Scrollpumpe aus älteren Modellen mit einer leistungsfähigen Klauenpumpe. Mit dieser Vorpumpe evakuiert der UL3000 Fab ULTRA die zu prüfende Produktionsausrüstung deutlich schneller – gerade wenn diese sehr groß ist. Durch sein hohes Pumpvermögen (bis zu 36 m³/h) besonders im relevanten Druckbereich (Normaldruck bis hinab zu 1 mbar) reduziert das Gerät die Evakuierungszeit und damit die Stillstandszeit in der Produktion. Bei einem Halbleiterhersteller etwa amortisiert sich der gesamte Anschaffungspreis des Geräts – durch die kürzere Fertigungsunterbrechung dank des schnelleren Prüfprozesses – schon innerhalb von Minuten. Ein weiterer Vorzug des neuen UL3000 Fab ULTRA ist, dass die wartungsarme Klauenpumpe die Betriebskosten reduziert.

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