28.07.2026 Fluortensidfreie FFKM- und FKM-Werkstoffe für die Halbleiterindustrie

Da globale Regulierungsbehörden und Halbleiterhersteller den Einsatz von Per- und Polyfluoralkylsubstanzen (PFAS) aufgrund ihrer potenziellen Auswirkungen auf die menschliche Gesundheit und die Umwelt zunehmend einschränken, unterstützen die beiden Perfluorelastomere (FFKM) JPF50 und JPF58 sowie das Fluorelastomer (FKM) VPF20 Halbleiterhersteller dabei, sich auf veränderte regulatorische Anforderungen einzustellen, ohne Einbußen bei Leistungsfähigkeit und Langlebigkeit hinnehmen zu müssen. *

Isolast® PureFab® JPF50 ist ein hochreines FFKM, das entwickelt wurde, um die Anforderungen an Reinheit und Plasmabeständigkeit bei diversen chemischen Prozessen und den gängigen Dünnschicht-Precursoren zu erfüllen. Durch den Verzicht auf Füllstoffe und Fluortenside verlängert der Werkstoff die Lebensdauer. Das FFKM trägt durch seine geringe Ausgasung und minimale Partikelemission zur Reduzierung von Kontaminationsrisiken und zur Verbesserung des Process Yields bei. Der Werkstoff erbringt bei Temperaturen von bis zu +300 °C eine zuverlässige Dichtungsleistung und sorgt für eine stabile Abdichtung auch in anspruchsvollen Umgebungen. Durch den geringen Druckverformungsrest und die robuste mechanische Festigkeit ermöglicht der Werkstoff verlängerte Wartungsintervalle und trägt zur Reduzierung ungeplanter Ausfallzeiten bei. Der Stoff eignet sich für Dichtungen und Komponenten in Abscheidungs- (PECVD, HDPCVD, PEALD) und Ätzprozessen (ALE, Trockenätzen), darunter Kammerdeckel- und Gaseinlassdichtungen sowie gebondete Slit-Valve-Door-Dichtungen.

Isolast® PureFab® JPF58 ist ein FFKM, das für den dauerhaften, zuverlässigen Betrieb in Hochtemperaturumgebungen entwickelt wurde, in denen langfristige Temperaturbeständigkeit und Reinheit erforderlich sind. Es bietet eine hohe Temperaturbeständigkeit bis zu +300 °C für eine konstante Dichtungsintegrität über eine längere Nutzungsdauer und widersteht Rissbildung bei hoher mechanischer und thermischer Belastung, was zu einer längeren Lebensdauer beiträgt. Der Stoff widersteht aggressiven Prozess- und Abgasen und behält bei Dauerbetrieb unter hohen Lasten und erhöhten Temperaturen seine Formbeständigkeit.

Zu den typischen Einsatzbereichen zählen Dichtungen und Komponenten in Hochtemperaturprozessen wie RTP, ALD, CVD und Diffusionsöfen, für Quarzrohr-, Plenum-, Kammer- und Ofentürdichtungen sowie für Flansche und Zentrierringe für Abgas- und Vakuumanschlüsse.

PureFab® VPF20 ist ein hochreines Fluorelastomer (FKM), das eine kontaminationsarme Produktion sicherstellt und die Anforderungen der Halbleiter- und Displayfertigung erfüllt. Der Werkstoff basiert auf einem fluortensidfreien Basispolymer und ist mit hochreinen synthetischen Füllstoffen formuliert. Diese Elastomerzusammensetzung reduziert metallische Verunreinigungen sowie ionische extrahierbare Stoffe auf ein Minimum und ermöglicht dadurch eine zuverlässige Dichtungsperformance in hochreinen und kontaminationskritischen Anwendungen.

Mit robuster mechanischer Festigkeit und elastischer Rückstellung bietet es eine gute Langlebigkeit sowohl in statischen als auch in dynamischen Dichtungsanwendungen und zeigt eine zuverlässige chemische Beständigkeit gegenüber gängigen Prozesschemikalien. Der Stoff ist eine kostengünstige Alternative zu FFKM für Anwendungen mit moderaten Temperaturen und mittleren chemischen Anforderungen. Es eignet sich insbesondere für die Herstellung von Dichtungen in Transfermodulen, Loadlocks, Equipment Front End Modules (EFEM) und Vakuumprozesssystemen, für allgemeine Vakuumdichtungen und Anlagen zur Herstellung von Displays sowie für reinheitskritische Anwendungen, bei denen schwarze FKM-Werkstoffe ein Kontaminationsrisiko darstellen.

Das gesamte PureFab®- Portfolio umfasst Werkstoffe, die für den Einsatz in aggressiven Front-End-Prozessen ausgelegt sind, einschließlich Abscheidung, Ätzen, Ashing/Stripping, Plasmareinigung und thermischer Verarbeitung wie der Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition).

* Fluortensidfreie Werkstoffe bedeuten, dass PFAS-Fluortenside nicht absichtlich verwendet werden. Nach bestem Wissen und Gewissen und auf Grundlage der verfügbaren Informationen enthalten diese Werkstoffe keine PFAS-Fluortenside. Es kann jedoch nicht garantiert werden, dass sie nicht Spuren von unbeabsichtigt vorkommenden PFAS-Fluortensiden enthalten.