Vakuum-Messgeräte müssen regelmäßig gereinigt werden, damit die Performance stimmt (Bild: Busch Group)
26.10.2026 Reinigung von Vakuummessgeräten
Methoden für die gängigsten Messgerätetypen
Vakuummessgeräte sind für die Drucküberwachung in Prozessen wie der Dünnfilmbeschichtung, Wärmebehandlung oder beim Dosieren unter Vakuum unverzichtbar. Selbst geringfügige Ungenauigkeiten in den Messergebnissen können dazu führen, dass die Dicke der Beschichtung vom Zielwert abweicht, sich Reaktionszeiten ändern oder Messungen nicht mehr verglichen werden können. Da diese Messgeräte oft in anspruchsvollen Umgebungen eingesetzt werden, sammeln sich im Laufe der Zeit immer mehr Staub, Öl oder chemische Rückstände an. Diese schrittweise Ansammlung von Verunreinigungen kann die Genauigkeit beeinträchtigen.
Vakuummessgeräte sind hochpräzise Instrumente zur Druckmessung. Sie liefern Messwerte für den Totaldruck, von Grob- bis Ultrahochvakuum, und sind daher unerlässlich für die Überwachung, Steuerung und Aufrechterhaltung von Vakuumprozessen. Je nach Vakuumsystem und Vakuumniveau sind unterschiedliche Arten von Messgeräten erforderlich.
Warum Messgeräte verunreinigen
Während des Betriebs sammeln sich mit der Zeit Verschmutzungen aus der Prozessumgebung an Vakuummessgeräten an. Im Inneren des Messgeräts können Hitze und reaktive Gase chemische Reaktionen auslösen, die isolierende Schichten auf den Sensoroberflächen bilden. Je nach Messgerätetyp stören diese Schichten die Wärmeübertragung, den Elektronenfluss oder die Gasinteraktion und verfälschen so die Messergebnisse. Je länger das Messgerät verwendet wird, desto mehr Ablagerungen bilden sich, was zu noch größeren Ungenauigkeiten bei der Messung führt. Für langfristig zuverlässige Messergebnisse ist es daher unerlässlich, das Vakuummessgerät
regelmäßig zu reinigen.
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