Beschichtungsanlagen  auf Dichtheit prüfen

Übersicht über verschiedene Lecksucher (Bild: Pfeiffer Vacuum GmbH)

01.11.2018 Beschichtungsanlagen auf Dichtheit prüfen

Tipps und Tricks

von Dr. Rudolf Konwitschny (Pfeiffer Vacuum GmbH)

Nach der Installation einer neuen Anlage oder der Wartung an einer bestehenden treten nicht selten Leckagen auf. Ursache hierfür sind oft Fügefehler oder vergessene bzw. defekte Dichtungen. Um diese Leckagen zu finden und Anlagen auf Dichtheit zu prüfen, ist der korrekte Umgang mit Helium-Lecksuchgeräten von entscheidender Bedeutung.

Je mehr über die der Dichtheitsprüfung zugrunde liegenden physikalischen Phänomene sowie über die Optimierungsmöglichkeiten bei der Durchführung bekannt ist, umso einfacher ist der Einsatz von Helium-Lecksuchern in der Praxis und umso zuverlässiger sind die Messergebnisse. Der folgende Überblick gibt anhand von Anwendungsbeispielen praktische Hinweise zum richtigen Umgang mit Helium-Lecksuchern und zur erfolgreichen Durchführung von Dichtheitsprüfungen an Vakuumanlagen.

Was ist beim Anschließen des Lecksuchers an eine Beschichtungsanlage zu beachten?

Leckagen, die nach der Inbetriebnahme oder Wartung von Vakuumanlagen auftreten, sind oftmals sehr groß. Ab einer bestimmten Leckgröße können marktübliche Helium-Lecksucher jedoch nicht mehr verwendet werden. Ihr maximaler Arbeitsdruck liegt i.d.R. zwischen etwa 6 und 25 mbar. Liegen große Leckagen vor, kann dieser Druck unter Umständen beim Evakuieren nicht erreicht werden. Bild 1 zeigt eine Si3N4-Beschichtungsanlage. Nach einer Wartung wird beim Evakuieren lediglich ein Druck von 80 mbar erreicht. Statt der Drosselung eines Vakuumlecksuchers kann beim Lecksuchgerät ASM 340 ein qualitativer Massiv-Lecksuchmodus eingesetzt werden, mit dessen Hilfe das vorliegende Leck lokalisiert werden kann.